乙硼烷5.0N
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乙硼烷Diborane 5.0N |
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組分 Components |
規(guī)格 Specification |
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乙硼烷 Diborane（B2H6） |
99.999% |
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氮 Nitrogen (N2) |
≤2 ppmv |
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氧 Oxygen (O2) |
≤0.5 ppmv |
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二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) |
≤2 ppmv |
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甲烷 Methane (CH4) |
≤4 ppmv |
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氫Hydrogen (H2) |
≤100 ppmv |
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水 Water (H2O) |
≤0.1 ppmv |
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三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3） |
≤50 ppmv |
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Teraborane(B4H10) |
≤180 ppmv |
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Pentaborane(B5H9） |
≤10 ppmv |
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Pentaborane（B5H11） |
≤10 ppmv |
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Hexaborane（B6H10） |
≤10 ppmv |